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碳化硅:帶動山西半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展

來源:山西日報 作者:杜鵑 2020年03月18日 07:45

  “你看咱們身邊這一排排3米高的大白箱子,,就是‘TDS碳化硅單晶生長設(shè)備’,,別看它表面很平靜,里面2300℃以上的高溫中,,正在進行著驚人的化學反應(yīng)——生長形成碳化硅晶錠,。”

  3月13日,,在山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)瀟河產(chǎn)業(yè)園區(qū)太原起步區(qū)(北區(qū))的粉料合成及單晶生長車間,,與記者一同穿梭于TDS碳化硅單晶生長設(shè)備之間的山西爍科晶體有限公司設(shè)備部經(jīng)理周立平,邊走邊講解碳化硅的復(fù)雜生長過程,。

  隨著項目投產(chǎn)一批,、開工一批、簽約一批的“三個一批”活動近日在山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)舉行,,我省再次吹響抓項目,、促轉(zhuǎn)型的號角。2月28日剛剛投產(chǎn)的山西爍科晶體有限公司中國電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地項目(一期)就是這次“三個一批”中開工投產(chǎn)項目之一,。

  碳化硅是全球最先進的第三代半導(dǎo)體材料,,具有耐高壓、高頻,、大功率等優(yōu)良的物理特性,,是衛(wèi)星通信、高壓輸變電,、軌道交通,、電動汽車,、通信基站等重要領(lǐng)域的核心材料,尤其是在航天,、軍工,、核能等極端環(huán)境應(yīng)用領(lǐng)域里有著不可替代的優(yōu)勢。

  “打個比方,,5G之所以傳輸速度快,,正因為它擁有一顆足夠強大的5G芯片心臟,碳化硅晶片就是5G芯片最理想的襯底,?!敝芰⑵脚e例。

  據(jù)了解,,碳化硅單晶的制備一直是全球性難題,,而高穩(wěn)定性的晶體生長工藝則是其中最核心的技術(shù)。此前,,這項技術(shù)只掌握在美國人手里,,近幾年,山西爍科晶體有限公司經(jīng)過反復(fù)鉆研攻關(guān),,最終完全掌握了這項技術(shù),,實現(xiàn)了高純度碳化硅單晶的商業(yè)化量產(chǎn)?!艾F(xiàn)在,,除了設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)是我們自己在做,連碳化硅的生長原料——碳化硅粉末,,都是我們自己生產(chǎn)的,,不依賴別人,就有更大自主權(quán),?!敝芰⑵阶院赖叵蛴浾呃^續(xù)介紹,“這些原料粉末,,在TDS碳化硅單晶生長設(shè)備內(nèi)以PVT升華法,,經(jīng)過長達7至10天的高溫密閉升華,結(jié)晶到籽晶上,,最終形成晶錠,。這個漫長的過程,就是核心技術(shù)所在,?!?/p>

  一塊成品碳化硅晶錠,會被切割成20片500微米厚的碳化硅晶片,,也就是該公司最終產(chǎn)品成品,,平均每片的售價達1萬元,。

  “我們碳化硅基地一期共有300臺設(shè)備,單月產(chǎn)值就能突破1億元,,項目全部建成后將成為國內(nèi)最大的碳化硅材料供應(yīng)基地,,而這個1000畝的產(chǎn)業(yè)園將串聯(lián)起山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)上下游十多個產(chǎn)業(yè),帶動山西半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群迅速發(fā)展,,實現(xiàn)中國碳化硅的完全自主供應(yīng),。”山西爍科晶體有限公司總經(jīng)理李斌信心滿滿地說,。

(責編:田洲)