“你看咱們身邊這一排排3米高的大白箱子,,就是‘TDS碳化硅單晶生長設備’,別看它表面很平靜,,里面2300℃以上的高溫中,,正在進行著驚人的化學反應——生長形成碳化硅晶錠?!?/p>
3月13日,,在山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)瀟河產(chǎn)業(yè)園區(qū)太原起步區(qū)(北區(qū))的粉料合成及單晶生長車間,與記者一同穿梭于TDS碳化硅單晶生長設備之間的山西爍科晶體有限公司設備部經(jīng)理周立平,,邊走邊講解碳化硅的復雜生長過程,。
隨著項目投產(chǎn)一批、開工一批,、簽約一批的“三個一批”活動近日在山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)舉行,,我省再次吹響抓項目、促轉(zhuǎn)型的號角,。2月28日剛剛投產(chǎn)的山西爍科晶體有限公司中國電科(山西)碳化硅材料產(chǎn)業(yè)基地項目(一期)就是這次“三個一批”中開工投產(chǎn)項目之一,。
碳化硅是全球最先進的第三代半導體材料,具有耐高壓,、高頻,、大功率等優(yōu)良的物理特性,是衛(wèi)星通信,、高壓輸變電,、軌道交通、電動汽車,、通信基站等重要領域的核心材料,,尤其是在航天、軍工,、核能等極端環(huán)境應用領域里有著不可替代的優(yōu)勢,。
“打個比方,5G之所以傳輸速度快,,正因為它擁有一顆足夠強大的5G芯片心臟,,碳化硅晶片就是5G芯片最理想的襯底?!敝芰⑵脚e例,。
據(jù)了解,,碳化硅單晶的制備一直是全球性難題,而高穩(wěn)定性的晶體生長工藝則是其中最核心的技術,。此前,,這項技術只掌握在美國人手里,近幾年,,山西爍科晶體有限公司經(jīng)過反復鉆研攻關,,最終完全掌握了這項技術,實現(xiàn)了高純度碳化硅單晶的商業(yè)化量產(chǎn),?!艾F(xiàn)在,除了設備的研發(fā)和生產(chǎn)是我們自己在做,,連碳化硅的生長原料——碳化硅粉末,,都是我們自己生產(chǎn)的,不依賴別人,,就有更大自主權,。”周立平自豪地向記者繼續(xù)介紹,,“這些原料粉末,,在TDS碳化硅單晶生長設備內(nèi)以PVT升華法,經(jīng)過長達7至10天的高溫密閉升華,,結晶到籽晶上,,最終形成晶錠。這個漫長的過程,,就是核心技術所在,。”
一塊成品碳化硅晶錠,,會被切割成20片500微米厚的碳化硅晶片,,也就是該公司最終產(chǎn)品成品,平均每片的售價達1萬元,。
“我們碳化硅基地一期共有300臺設備,單月產(chǎn)值就能突破1億元,,項目全部建成后將成為國內(nèi)最大的碳化硅材料供應基地,,而這個1000畝的產(chǎn)業(yè)園將串聯(lián)起山西轉(zhuǎn)型綜改示范區(qū)上下游十多個產(chǎn)業(yè),帶動山西半導體產(chǎn)業(yè)集群迅速發(fā)展,,實現(xiàn)中國碳化硅的完全自主供應,。”山西爍科晶體有限公司總經(jīng)理李斌信心滿滿地說,。